Ярымүткәргеч басым сенсорларын ике категориягә бүлеп була, берсе принцип буенча ярымүткәргеч PN тоташуының (яки шоттки тоташуы) стресс астында үзгәрү принцибына нигезләнгән.Бу басымга сизгер элементның эшләнеше бик тотрыксыз һәм зур үсеш алмаган.Икенчесе - ярымүткәргеч басым сенсорының төп төрлелеге булган ярымүткәргеч пиезорессив эффектка нигезләнгән сенсор.Беренче көннәрдә ярымүткәргеч штамм үлчәүләре күбесенчә төрле стресс һәм штамм үлчәү кораллары ясау өчен эластик элементларга бәйләнгәннәр.1960-нчы елларда, ярымүткәргеч интеграль челтәр технологиясе үсеше белән, пиезорезистик элемент барлыкка килгәндә диффузия резисторы булган ярымүткәргеч басым сенсоры.Бу төр басым сенсоры гади һәм ышанычлы структурага ия, чагыштырмача хәрәкәтләнүче өлешләр юк, һәм басымга сизгер элемент һәм сенсорның эластик элементы берләштерелгән, бу механик артта калудан һәм сенсорның эшләвен яхшырта.

Ярымүткәргечнең пиезоресистик эффекты ярымүткәргечнең тышкы көч белән бәйле характеристикасы бар, ягъни каршылык (символ белән күрсәтелә) ул булган стресс белән үзгәрә, ул пиезорезистик эффект дип атала.Unitайланма стрессы астында каршылыкның чагыштырмача үзгәрүе пиезорессив коэффициент дип атала, ул symbol символы белән күрсәтелә.Математик яктан ρ / ρ = π as итеп күрсәтелгән.

Кайда σ стрессны күрсәтә.Стресс вакытында ярымүткәргеч каршылык аркасында килеп чыккан каршылык кыйммәтенең (R / R) үзгәрүе, нигездә, каршылыкның үзгәрүе белән билгеләнә, шуңа күрә пиезорезистик эффектны чагылдыру R / R = as дип тә язылырга мөмкин.

Тышкы көч тәэсирендә ярымүткәргеч кристаллларда билгеле бер стресс (σ) һәм штамм (ε) барлыкка килә, һәм алар арасындагы бәйләнеш материалның Яшь модуласы (Y) белән билгеләнә, ягъни Y = σ / ε.

Әгәр пиезорессив эффект ярымүткәргечнең сызыгы белән күрсәтелсә, ул R / R = Gε.

G басым сенсорының сизгерлек факторы дип атала, ул берәмлек сызыгы астында каршылык кыйммәтенең чагыштырмача үзгәрүен күрсәтә.

Пизорезистив коэффициент яки сизгерлек факторы - ярымүткәргеч пиезорессив эффектның төп физик параметры.Алар арасындагы бәйләнеш, стресс һәм киеренкелек арасындагы кебек, Яшьнең материал модуласы белән билгеләнә, ягъни g = π y.

Эластиклыктагы ярымүткәргеч кристалларының анисотропы аркасында, Яшьнең модуласы һәм пиезорессив коэффициенты кристалл ориентациясе белән үзгәрә.Ярымүткәргеч пиезорессив эффектның зурлыгы шулай ук ​​ярымүткәргечнең каршылыгы белән тыгыз бәйләнгән.Каршылык түбән булса, сизгерлек факторы кечерәк.Диффузия каршылыгының пиезоресистик эффекты кристалл ориентациясе һәм диффузия каршылыгының пычрак концентрациясе белән билгеләнә.Пычраклык концентрациясе, нигездә, диффузия катламының өслек пычрак концентрациясенә карый.