Пассат ягулыгына кулланыла торган тримера басымы сенсоры 06E906051K

1. Басым сенсорын формалаштыру ысулы, компризинг:

Ярымаралы субстрат бирү, анда беренче катнашучы диэлектрик катламы, беренче катнашучы диэлектрик катламы һәм ярымүткәргеч субтрикада икенче аралашу диэлектрик катламы барлыкка килә.

Түбән ExeDeod тәлинкә, бер катрод тәлинкәсе һәм аерым араларда бер үк катламда урнашкан беренче парэлектрик катлам.

Катламнарны тоташтыру;

Аскы поляр тәлинкә өстендә корбан каталыгын формалаштыру;

Беренче аралашучы диэлектрик катламда, беренче интеррик контактта, беренче интеркаркок катламы һәм корбан торары;

Корбан катламын барлыкка китергәннән соң һәм өске тәлинкәне формалашканчы, беренче интервью катламында

Тоташу трюкасын формалаштыру, һәм өске тәлинкә белән бәйләнешле трюкны электр белән беренче интеркаркеклау катламы белән бәйләү; Яки,

Upperгары электрод тәлинкәсен формалаштырганнан соң, трюкларны тоташтыру өске электр тәлинкәсендә һәм беренче интеркаркон катламында формалашалар, бу

Үткәргеч катламын формалаштыру, алга таба элеккеге Exiende тәлинкәсен һәм тоташу трюкында беренче интервекция катламы;

Upperгары тәлинкәне һәм беренче интеркаркеклау катламын, корбанны формалаштыру өчен корбан торышын бетергәннән соң.

2. 1 дәгъва буенча басым сенсорын формалаштыру ысулы, анда беренче катламда

Корбан катламын әдәплаучыларның әдәпсез катламын формалаштыру ысулы түбәндәге адымнарны үз эченә ала:

Беренче әдәпче диэлектрик катламында корбан материаль катламны урнаштыру;

Корбанлы катламны корбан белән формалаштыру өчен корбан материалларын үрнәк итеп тәрбияләү.

3. 2-нче дәгъва буенча басым сенсорын формалаштыру ысулы, анда фотолитография буенча һәм грушу кулланыла.

Корбанлы материал катламы эхетлау процессы белән үрнәк булып тора.

4. 3-нче дәгъвачы буенча басым сенсорын формалаштыру ысулы, анда корбан.

Материал - аморф углерод яки гербон.

5. 4-нче дәгъвачы буенча басым сенсорын формалаштыру ысулы, корбан калсациясе

Материал - аморф углерод;

Корбан материаль катламны чыгару процессында кулланылган эхчинг газлары O2, CO, N2 һәм A керә;

Корбан материалларын эләгү процессындагы параметрлар: O2 агым диапазоны 18 SCCM диапазоны, һәм Co агымының агым ставкасы 10% тәшкил итә.

Агым ставкасы 90 СКМдан 110 SCCM, N2 агым тизлеген, 90 Шкмның агым тизлегеннән 110 SCCM, һәм AR ставкасы.

Диапазон 90 SCCM ~ 110 SCCM, басым диапазоны 90 мтор ~ 110 мтор, һәм тискәре көче

540w ~ 660w.