Passat ягулыгы өчен кулланыла торган тимер юл басымы сенсоры 06E906051K

1. Басым сенсорын формалаштыру ысулы:

Ярымүткәргеч субстрат белән тәэмин итү, анда беренче үткәргеч диэлектрик катлам, беренче үзара диэлектрик катлам һәм ярымүткәргеч субстратта икенче үзара диэлектрик катлам барлыкка килә.

Беренче үзара диэлектрик катламдагы аскы электрод тәлинкә, аскы электрод тәлинкәсе белән бер катламда урнашкан һәм аерылып торган беренче үзара электрод.

Катламнарны тоташтыру;

Түбән поляр тәлинкә өстендә корбан катламы формалаштыру;

Беренче үзара диэлектрик катламда, беренче үзара бәйләнеш катламында һәм корбан катламында өске электрод тәлинкәсен формалаштыру;

Корбан катламын формалаштырганнан соң һәм өске тәлинкә ясаганчы, беренче үзара бәйләнеш катламында

Беренче үзара бәйләнеш катламы белән электр белән тоташу өчен тоташу трюкын формалаштыру, һәм өске тәлинкә белән тоташу трубкасын тутыру; Яисә,

Upperгары электрод тәлинкәсен формалаштырганнан соң, өске электрод тәлинкәсендә һәм беренче үзара бәйләнеш катламында тоташтыргыч трюклар барлыкка килә, алар

Electгары электрод тәлинкәсен һәм тоташу трубкасында беренче үзара бәйләнеш катламын тоташтыручы үткәргеч катлам формалаштыру;

Upperгары тәлинкә белән беренче үзара бәйләнеш катламын электр белән тоташтырганнан соң, корбан катламын куып, куышлык барлыкка китерәләр.

2. Беренче катламда 1-нче таләп буенча басым сенсорын формалаштыру ысулы

Диэлектрик катламда корбан катламын формалаштыру ысулы түбәндәге адымнарны үз эченә ала:

Беренче үзара диэлектрик катламга корбан материалы катламы урнаштыру;

Корбан материалы катламын корбан катламы формалаштыру.

3. 2-нче таләп буенча басым сенсорын формалаштыру ысулы, анда фотолитография һәм гравировка кулланыла.

Корбан материалы катламы эфир процессы белән бизәлгән.

4. 3-нче таләп буенча басым сенсорын формалаштыру ысулы, анда корбан катламы

Материал аморф углерод яки германий.

5. 4-нче таләп буенча басым сенсорын формалаштыру ысулы, анда корбан катламы

Материал аморф углерод;

Корбан материалы катламын чистарту процессында кулланылган газларга O2, CO, N2 һәм Ar керә;

Корбан материалы катламын эшкәртү процессындагы параметрлар: O2 агым диапазоны 18 SCCM ~ 22 SCCM, һәм CO агымы 10%.

Агым тизлеге 90 SCCMдан 110 SCCM, N2 агым тизлеге 90 SCCMдан 110 SCCM, һәм Ar агым тизлеге арасында.

Диапазоны 90 SCCM ~ 110 SCCM, басым диапазоны 90 мтор ~ 110 мтор, һәм икеләтә көч

540w ～ 660w。