Экскаватор басым сенсоры - иң киң кулланылган сенсор, ул индуктив көч энергиясе арасында газ, сыек, каты һәм башка матдәләрне ачыклау өчен гомуми термин.
Aboveгарыдагы һава басымын үлчәүче манометрлар һәм астагы һава басымын үлчәүче вакуум үлчәүләре. Көч сенсорының күп төрләре бар, традицион үлчәү ысулы - электр инжекция двигателен тотуны белдерү өчен эластик элементларның деформациясен һәм алышынуын куллану, ләкин аның күләме зур, ябык, һәм чыгу сызыксыз. Микроэлектроника күнекмәләренең үсүе белән, ярымүткәргеч материалларны пиезорессив эффект һәм өстен эластик куллану, ярымүткәргеч көч сенсорлары үсеше, кремний пиезорезистив һәм сыйдырышлы ике, алар кечкенә зурлыкка, җиңел авырлыкка, югары сизгерлек өстенлекләренә ия, ярымүткәргеч көчендә киң кулланыла. сенсорлар. Ярымүткәргеч кристаллга өскә басым ясалганда, аның каршылыгы үзгәрәчәк. Conductткәргечнең каршылык үзгәреше һәм стресс арасындагы бәйләнеш ярымүткәргеч пиезоресистив эффект дип атала, һәм бу эффекттан ясалган механик сан сенсоры пиезорезист көче сенсоры дип атала, аның ике төре бар, берсе ярымүткәргеч штамм үлчәүеннән ясалган сенсор. ябыштырылган пиезорессив сенсор дип аталган эластик элемент. Икенчесе - ярымүткәргеч материалның субстратында интеграль схема технологиясеннән ясалган диффузия каршылыгы, шуңа күрә штамм үлчәү һәм кремний субстрат диффузия пиезорессив сенсоры дип аталган бөтен сенсорны барлыкка китерәләр. Ул югары сизгерлек, югары төгәллек, кечкенә зурлык, җиңел авырлык, югары эш ешлыгы, гади төзелеш, ышанычлы эш һәм озын гомер үзенчәлекләренә ия.