Пиезорессив сенсор структурасы

Бу сенсорда резистор полосасы кремний пизорезистив чип ясау өчен интеграция процессы белән монокристалл кремний диафрагмасына интеграцияләнә, һәм бу чипның перифериясе кабыкка ныклап урнаштырылган, һәм электрод корычлары чыгарыла. Пизорезистив басым сенсоры, шулай ук ​​каты-дәүләт басым сенсоры буларак та билгеле, ябыштыргыч штамм үлчәүеннән аерылып тора, ул тышкы көчне эластик сизгер элементлар аша турыдан-туры тоярга тиеш, ләкин кремний диафрагмасы аша үлчәнгән басымны турыдан-туры тоя.

Кремний диафрагмасының бер ягы - югары басымлы куышлык, үлчәнгән басым белән аралаша, икенче ягы - түбән басымлы куыш, атмосфера белән аралаша. Гадәттә, кремний диафрагмасы тотрыклы периферияле түгәрәк рәвешендә эшләнгән, һәм диаметрның калынлыгы 20 ~ 60 тирәсе. Дүрт П пычраклыкка каршы тору полосалары түгәрәк кремний диафрагмасында таралалар һәм тулы күпергә тоташалар, икесе. кысу стресс зонасында, калган икесе киеренке стресс зонасында, алар диафрагма үзәгенә симметрияле.

Моннан тыш, квадрат кремний диафрагмасы һәм кремний баганасы сенсоры бар. Кремний цилиндрик сенсор шулай ук ​​кремний цилиндрының кристалл яссылыгының билгеле бер юнәлешендә диффузия ярдәмендә резистив полосалардан ясалган, һәм ике киеренке стресска каршы полосалар һәм ике кысу стресска каршы торучы полосалар тулы күперне тәшкил итә.

Пизорезистив сенсор - ярымүткәргеч материалның пиезорезистик эффекты буенча ярымүткәргеч материалның субстратында диффузия каршылыгы белән ясалган җайланма. Аның субстратын турыдан-туры үлчәү сенсоры итеп кулланырга мөмкин, һәм диффузиягә каршы тору субстратта күпер рәвешендә тоташтырылган.

Субстрат тышкы көч белән деформацияләнгәч, каршылык кыйммәтләре үзгәрәчәк һәм күпер тиешле тигезсез чыганак чыгарачак. Пиезорессив сенсорлар буларак кулланылган субстратлар (яки диафрагмалар), нигездә, кремний вафиннары һәм германий ваферлары. Кремний вафаларыннан ясалган кремний пиезорессив сенсорлар көннән-көн игътибарны җәлеп итә, аеруча басымны һәм тизлекне үлчәү өчен каты-пиезорезив сенсорлар иң киң кулланыла.