Пиезореист сенсоры структурасы

Бу сенсорда резистор полосасы Ларикон Пиезотик Чип ясау өчен Интеграция процессы белән интеграция процессы белән интеграцияләнгән, һәм бу чипның перифериясенең перифере кабыкта төрелгән, һәм электрод алып барыла. Пиезоресист басымы сенсоры, шулай ук ​​каты дәүләт басымы сенсоры итеп аталган, аны эластик сизгер элементлар аша тышкы көчне тоярга кирәк, ләкин кремний диафрагмасы аша тышкы көчне тоярга тиеш.

Кремний диафрагмның бер ягы - үлчәнгән басым белән аралашучы югары басымлы куыш, икенче ягы атмосфера белән аралашкан түбән басымлы куышлык. Гадәттә, кремний диафрагма билгеләнгән периферия белән түгәрәк итеп эшләнгән, һәм аларның ике путравкалы каршылыклы полосалар, икенчесе компрессив стресс зонасында, калган икесе - семнетрик стресс зонасында, ул үзәккә хөрмәт белән симметрияле. диафрагма.

Моннан тыш, квадрат кремний диафрагмасы һәм кремний кремун баганасы бар. Кремний цилиндрик сенсор шулай ук ​​кремний цилиндрның кристалл яссылыгы, ике киеренкелек стрессы резистолет полосасы һәм ике кысылган стресс терәк корылмасы тулы күпер тәшкил итә.

Пиезоресист сенсоры - ярымүткәргеч материалның пиезоресатив эффектына карап, ярымүткәр материал субстратында катнашучы җайланма. Аның субстраторы турыдан-туры үлчәү сенсоры буларак кулланылырга мөмкин, һәм дифференциаль каршылык күпер рәвешендә субстратта тоташтырылган.

Сумстрат тышкы көч белән деформацияләнгәндә, каршылык кыйммәтләре үзгәрәчәк һәм күпер үзгәрәчәк. Пикезист сенсорлары буларак кулланылган субстратлар (яки диафрагм), нигездә, кремний дулкыннары һәм германий вафеслары. Кремний Пикезотеристик сенсорлар сизгер материаллардан ясалган кремний пиезоресист сенсорлары күбрәк игътибар бирде, аеруча зур игътибар җәлеп итте, аеруча басым һәм тизлек өчен иң киң кулланылган.