Картер Эксаватор өчен двигатель басымы сенсоры 2CP3-68 1946725

Басым сенсоры әзерләү ысулы, түбәндәге адымнарны чагыштырып характерлана:

S1, арткы өслек һәм алгы өслек белән вафер белән тәэмин итү; Вирезоресист полосасын формалаштыру һәм вафинның алгы өслеген формалаштыру; Вафинның арткы өслеген чыгарып басым тирән куышын формалаштыру;

S2, вафер артында ярдәм таблицасын бәйләү;

S3, вафинның алгы ягында, һәм пиезоресатив полосаларын бөтерү полосаларын эшләтеп җибәрү.

S4, вафинның алгы өслегендә пастацион катламны департаментлау һәм формалаштыру, металл-пад өлкәсе формалаштыру өчен пастацион катламның ачу өлешен ачу. 2. 1-нче дәгъва белән басым сенсорының җитештерү ысулы буенча, анда S1 җитештерү буенча түбәндәге адымнарны чыгарып тора: S11: Арткы өслек һәм алгы өслек, вафудагы басым сизгер фильмының калынлыгын билгеләү; S12: Ион имплантация вафеланың алгы өслегендә кулланыла, Пиезистив полосаларның югары температурасы буенча кулланыла, һәм контакт регионнары бик нык тәэсир итәләр; S13: Вафинның алгы өслегендә саклагыч катламны салу һәм формалаштыру; S14: Вафрның арткы өлешендә басым тирән куышлык булдыру һәм басымга сизгер фильм формалаштыру. 3. 1 дәгъва буенча басым сенсорының җитештерү ысулы, анда вафе соины.

1962 елда TUTE AL. Беренче тапкыр сипкән кремозион пиезоресист полосалары һәм кремний фильм структурасы белән парезоресатив басым сенсоры җитештерде, һәм Пикезезиди басымы сенсоры. 1960-нчы еллар ахырында һәм 1970-нче еллар башында өч технология, ягъни сорикон анисотроп эсоик эскәмия технологиясе, басым сенсорының чыгышына зур үзгәрешләр китерде, бу мөһим роль уйнады. 1980 елдан башлап, анисотроп, бәйләнешле допинг, ион имплюзия, бәйләнеш һәм каплау, сизгерлек яхшырды, һәм җитештерү югары, спектакль бик яхшы. Шул ук вакытта, яңа микромашроп техникасын үстерү һәм куллану фильмның калынлыгы сенсорын төгәл контрольдә тоталар.