Картер экскаваторы өчен 2CP3-68 1946725 двигатель басымы сенсоры

Түбәндәге адымнарны үз эченә алган басым сенсорын әзерләү ысулы:

S1, арткы өслеге һәм алгы өслеге белән вафер тәэмин итү; Ваферның алгы өслегендә пиезорессив полоса һәм каты допед контакт өлкәсен формалаштыру; Ваферның арткы өслеген кысып басым тирән куышлык формалаштыру;

S2, вафин артына таяныч бәйләү;

S3, вафинның алгы ягында корыч тишекләр һәм металл чыбыклар җитештерү, һәм Уитстон күперен формалаштыру өчен пиезорезистик полосаларны тоташтыру;

S4, вафинның алгы өслегендә пассивация катламын урнаштыру һәм формалаштыру, пассивлаштыру катламының өлешен ачу, металл такта өлкәсен формалаштыру. 2. 1-нче таләп буенча басым сенсорын җитештерү ысулы, анда S1 махсус түбәндәге адымнарны үз эченә ала: S11: арткы өслекне һәм алгы өслекне тәэмин итү, вафердагы басымга сизгер пленка калынлыгын билгеләү; S12: вонның алгы өслегендә ион имплантациясе кулланыла, пиезорессив полосалар югары температурада диффузия процессы белән җитештерелә, контакт өлкәләре бик допедланган; S13: ваферның алгы өслегендә саклагыч катлам туплау һәм формалаштыру; S14: басымга сизгер пленка формалаштыру өчен вафер артындагы басым тирән куышны чыгару һәм формалаштыру. 3. 1-нче таләп буенча басым сенсорының җитештерү ысулы, анда вафер SOI.

1962 елда Туфте һ.б. Беренче тапкыр таралган кремний пиезорессив полосалары һәм кремний пленка структурасы белән пиезорессив басым сенсоры җитештерде, һәм пиезорессив басым сенсоры буенча тикшеренүләр башлады. 1960-нчы еллар ахыры һәм 1970-нче еллар башында кремний анисотроп эфир технологиясе, ион имплантациясе технологиясе һәм анодик бәйләү технологиясе барлыкка килү басым сенсорына зур үзгәрешләр китерде, бу басым сенсорының эшләвен яхшыртуда мөһим роль уйнады. . 1980-нче еллардан башлап, анисотроп эфирлау, литография, диффузия допингы, ион имплантациясе, бәйләү һәм каплау кебек микромахина технологияләренең алга таба үсеше белән басым сенсорының күләме өзлексез кимеде, сизгерлек яхшырды, чыгару югары һәм югары спектакль бик яхшы. Шул ук вакытта, яңа микромахинация технологиясен эшләү һәм куллану фильмның басым сенсорының калынлыгын төгәл контрольдә тота.